Вакуумная установка ВУ-110 Оптик - Сморгонский завод оптического станкостроения

Установка предназначена для нанесения оптических функциональных тонкопленочных покрытий методами термического испарения с использованием электронно-лучевых и резистивных испарителей. Конструкцией изделия предусмотрена возможность ионно-лучевого ассистирования процесса осаждения пленки.
Контроль за процессом откачки и технологическими параметрами цикла осуществляет автоматизированная система управления технологическим процессом. Изделие оснащено системой фотометрического контроля оптической толщины пленки в диапазоне длин волн 250-1100 нм и системой измерения физической толщины и скорости осаждения покрытия по изменению параметров кварцевого резонатора.
Оператор управляет установкой с помощью автоматизированного рабочего места (АРМ). Оно реализуется на панельном персональном компьютере под операционной системой, например, Windows NT/200. Состояние установки отображается в виде мнемосхем, таблиц и списков.

Технические характеристики:
Рабочее давление в камере установки, Па 6х10-4
Время достижения остаточного давления 6х10-4 Па, мин 30
Количество/максимальная мощность испарителей, шт/кВА: электронно-лучевых 2/12, Резистивных 2/6

Количество ионно-лучевых источников/максимальный ионный ток, шт/А 1/2.5

Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуру, кг 50
Максимальная температура нагрева подложек, °С 320
Скорость вращения арматуры, об/мин 6-60
Максимальное число слоев покрытия, получаемое в одном технологическом цикле под управлением АСУТП, шт 32
Мощность, потребляемая установкой, кВА 75
Общая площадь, занимаемая установкой, м2 16
Масса установки, кг 2950